哈尔滨工业大学高真空球形平面型磁控溅射镀膜系统改造项目

哈尔滨工业大学高真空球形平面型磁控溅射镀膜系统 改造项目招标公告 1.招标条件 本项目已通过主管部门审批，招标人为哈尔滨工业大学，项目已具备招标条件，现对该项目进行公开招标。 2.项目概况 2.1项目名称：高真空球形平面型磁控溅射镀膜系统改造 2.2项目编号：HITZB-1005 2.3采购数量：1 2.4采购需求及主要技术指标（以用户提供序号排列）： 设备特性： 该设备具有可在共形整流罩内外表面镀制均匀致密的氧化物、金属膜的沉积。样品沉积状态可容纳Ф300mm的共形整流罩衬底，具有内外两套磁控溅射靶，样品托盘采用一定的运动方式进行旋转镀膜，确保在Ф300mm范围内均匀沉积单晶层材料。 设备详细技术参数如下： （一）基本结构与组成 本系统为单室立式结构的高真空磁控镀膜设备，可用于镀制各种硬质膜、金属膜、氧化物膜层等。系统主要由镀膜室、磁控溅射靶（二个靶、另外备一个）、射频电源、直流电源、样品加热转台、泵抽系统、真空测量系统、气路系统、电控系统等组成。 （二）主要技术性能指标 1. 真空室结构及尺寸 1.1 真空室：不小于Ф400×800（mm），不锈钢结构。有多个侧窗可观察腔体内部情况，可内烘烤温度不低于100℃。 2. 真空获得及测量 2.1 采用分子泵+机械泵的组合方式，抽气。 2.2 系统极限真空：系统经24小时烘烤后连续抽气，优于10-5Pa。 2.3 系统漏率：停泵关机12小时后真空度不大于10Pa。 3. 靶的结构尺寸 在真空室的侧面布置一个磁控靶,靶材尺寸2英寸,靶材对着工件外壁,并且可以在计算机控制下,调整靶材与工件之间的距离,靶内通水冷却,射频与直流兼容；在真空室底部有另外一个磁控靶,放置一个特殊结构的柱状靶与平面靶结合的复合靶,靶材直径大约50毫米管状,引入到工件内表面,靶内水冷、可以在计算机控制下做水平移动,拆下复合靶可以换上一个1英寸的摆头靶,该靶可以水平移动。各个靶的移动速度通过计算机控制,达到靶面中心到样品壁的距离一致。 4. 工件样品转架 样品转架，在真空室下底上安装一个样品转架。转架上一次可以放置一个炮弹形的回转体工件,工件缺失部分采用补偿块补偿成一个整个回转体,根据工件大小的不同,设计成3个承接托盘,可以放置3个不同尺寸的工件（具体托盘大小双方协商确定），转架可以自转，步进电机带动，最高转速30转/分，同时样品转架还可以靠步进电机自动升降，升降速度可调、最高升降速度20毫米/分。样品转架外面有加热器，可以在镀膜过程中对工件进行加热，加热器是电阻丝式,样品加热温度：室温～400℃,加热器与侧面磁控靶之间留有开口,便于侧面磁控靶镀膜。采用日本产温度控制器对加热器进行加热控温。控温精度±1℃。加热器可随样品架升降,但不转动。 5. 电源 5.1、加热控温电源：一套 5.2、射频电源：一套 500W 手动匹配 5.3、直流电源：一台 500W； 5.4、偏压电源（用户提供） 一台， 5.5、电机控制电源：4台 5.6、总控制电源：一台。 6、 气路系统： 采用二路MFC质量流量计控制器进气，每一路质量流量计前配有一Dg16手动截止阀,并备有混气室。 7、水流报警系统： 系统配有水流报警系统，用来对分子泵、磁控靶、真空室进行冷却，在水路上安装有水流继电器，一旦缺水或水流不足，将进行报警并切断相应电源，以防止损坏设备。 要求加热器的加热温度可以通过计算机程序设定,磁控靶与工件之间的距离、与工件自转、工件升降均采用计算机对其进行控制,使磁控靶中心在工件表面扫描的停留时间和距离相等,从而保证工件表面镀膜的均匀性。 9、附件 1）安装台架：整个设备安放在一个用型钢焊接而成的台架上，台架及围板均进行防锈及喷塑处理。 2）提升机：用来提升真空室上盖法兰。 3）气路卡套、压垫、管接头、不锈钢管等； 4）无氧铜密封垫圈（各种相关规格） 5）氟橡胶密封圈（各种相关规格）； 6）螺栓、螺母、螺钉、垫圈等标准件 7）各种相关规格的不锈钢轴承。 供货期：6个月 质保期：1年 3.投标人资格要求 3.1投标人需具备中华人民共和国境内的独立法人资格，本次招标不接受联合体投标，不允许将项目分包或转包。 3.2投标人需具备《中华人民共和国政府采购法》第二十二条的条件，并未被列入政府采购黑名单。 4．资格审查方式 本项目采用资格后审方式,主要资格审查标准、内容等详见招标文件。 5.投标报名 凡有意参加投标者，请于2015年10月14日至2015年10月20日(法定公休日、法定节假日除外)，每日上午8时30分至11时30分，下午13时30分至16时30分(北京时间)，将报名材料(本公告附件1、附件2)送达至哈尔滨市南岗区西大直街92号哈尔滨工业大学行政办公楼110房间。 6.招标文件的获取 如果报名符合开标条件，招标文件将以电子邮件的形式发送到您报名表中所留的邮箱，敬请自行查阅，哈工大招标与采购管理中心不再另行通知，请按招标文件要求交纳投标保证金等相关费用，以获取投标资格。 7.投标文件的递交 7.1投标文件递交截止时间及地点详见招标文件。 7.2逾期送达的或者未送达指定地点的投标文件，招标人不予受理。 8.发布公告的媒介 本次招标公告同时在以下媒介上发布： 中国政府采购网（http://www.ccgp.gov.cn/） 中国招标投标网（http://www.cec.gov.cn/） 哈尔滨工业大学（http://www.hit.edu.cn/） 哈尔滨工业大学国资处(http://gzc.hit.edu.cn) 9.本项目招投标过程中如出现有弄虚作假、恶意投诉和无理缠诉行为的投标企业，将严格按相关法律和规定处理。 10.联系方式 招标机构：哈尔滨工业大学招标与采购管理中心 地址：哈尔滨市南岗区西大直街92号哈尔滨工业大学行政办公楼110房间 邮编：150001 招标联系人：李占奎 李桂霞 电话： 0451-86417955 邮箱:zhankui@126.com 技术联系人：杨磊 电话： 0451-86402954 哈尔滨工业大学招标与采购管理中心 2015年10月13日