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哈尔滨工业大学复杂钙钛矿结构薄膜多功能复合镀膜设备项目招标公告

2016年03月16日 打印 收藏
哈尔滨工业大学复杂钙钛矿结构薄膜多功能 复合镀膜设备项目招标公告 1.招标条件 本项目已通过主管部门审批,招标人为哈尔滨工业大学,项目已具备招标条件,现对该项目重新进行公开招标。 2.项目概况 2.1采购单位:材料学院 2.2项目名称:复杂钙钛矿结构薄膜多功能复合镀膜设备 2.3项目编号:HITGKZB-002 2.4采购数量:1 2.5采购预算:85万元人民币 2.6采购需求及主要技术指标(以用户提供的序号排列): 真空腔室 电子束腔室内净尺寸Φ600×750mm,不锈钢腔室通水冷却;溅射腔室内净尺寸Φ500×420mm; 真空系统 复合分子泵+机械泵系统,气动真空阀门,两套真空泵组“两低一高”显复合真空计; 极限真空 优于6.6×10-5Pa; 抽 速 从大气抽至6.0×10-4Pa≤45min; 电子枪蒸发室 功率:8KVA;4穴或6穴坩埚可选;最高加热温度300℃,可调可控; 考夫曼离子源 配备60mm考夫曼离子源一套; 磁控溅射室 3只3英寸磁控溅射靶;3套电源;直流、中频、射频自动匹配。 基片台 半球型基片台;基片台最大承重不小于5kg;旋转速度:0-60转/分钟,可调可控,可加偏压; 蒸发源离基片距离 蒸发源与基片距离≥350mm; 膜厚监控仪 美国INFICO型号SQC-310 ;配备2只水冷探头; 控制方式 PLC+触摸屏控制系统;控制系统采用个性化设计定制,可直接输入参数,自动进行镀膜流程。满足复杂镀膜、光学镀膜需要。 报警及保护 对泵、电子枪等缺水、过流过压、断路等异常情况进行报警并执行相应保护措施;各种互锁保护,保障操作人员及设备的安全性; 占地面积 长×宽: 2000×3500mm; 质保时间:1年 供货时间:签订合同后6个月 3.投标人资格要求 3.1投标人需具备中华人民共和国境内的独立法人资格,本次招标不接受联合体投标,不允许将项目分包或转包。 3.2投标人需具备《中华人民共和国政府采购法》第二十二条的条件,并未被列入政府采购黑名单。 3.3如果所投设备为进口产品,投标人需具备国外制造商在国内代理(销售)商资格或国外制造商出具的原厂授权函。 4.资格审查方式 本项目采用资格后审方式,主要资格审查标准、内容等详见招标文件。 5.投标报名 凡有意参加投标者,请于2016年3月16日至2016年3月22日(法定公休日、法定节假日除外),每日上午8时30分至11时30分,下午13时30分至16时30分(北京时间),将报名材料(本公告附件1、附件2)送达至哈尔滨市南岗区西大直街92号哈尔滨工业大学行政办公楼203房间。 6.招标文件的获取 如果报名符合开标条件,招标文件将以电子邮件的形式发送到您报名表中所留的邮箱,敬请自行查阅,哈工大招标与采购管理中心不再另行通知,请按招标文件要求交纳相关费用,以获取投标资格。 7.投标文件的递交 7.1投标文件递交截止时间及地点详见招标文件。 7.2逾期送达的或者未送达指定地点的投标文件,招标人不予受理。 8.发布公告的媒介 本次招标公告同时在以下媒介上发布: 中国政府采购网(http://www.ccgp.gov.cn/) 中国招标投标网(http://www.cec.gov.cn/) 哈尔滨工业大学(http://www.hit.edu.cn/) 哈尔滨工业大学国资处(http://gzc.hit.edu.cn) 9.本项目招投标过程中如出现有弄虚作假、恶意投诉和无理缠诉行为的投标企业,将严格按相关法律和规定处理。 10.联系方式 招标机构:哈尔滨工业大学招标与采购管理中心 地址:哈尔滨市南岗区西大直街92号哈尔滨工业大学行政办公楼110房间 邮编:150001 招标联系人:李占奎 李桂霞 电话: 0451-86417955 邮箱:zhankui@126.com 技术联系人:李春东 电话: 0451-86418031 哈尔滨工业大学招标与采购管理中心 2016年3月15日
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